УДК 621.791.002:65.011.56
В. Н. А т а м а н о в
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА И РАЗРАБОТКА
ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ
КОРПУСОВ ФОТОПРИЕМНИКОВ
Приведены результаты исследования формирования соединений
при шовной сварке тонкостенной оболочки с помощью односто-
роннего подвода сварочного тока. Представлены кинематическая
схема разработанного полуавтомата для герметизации фотопри-
боров и технологические режимы сварки.
E-mail:
Ключевые слова
:
фотоприемники, шовная сварка, токоподвод, рекри-
сталлизация, герметичность, кинематическая схема, производитель-
ность.
С увеличением выпуска полупроводниковых фотоприемников все
большее значение приобретает снижение трудоемкости их производ-
ства, в том числе и трудоемкости процесса герметизации, составляю-
щей 20. . . 45% общей трудоемкости, а такж е максимальная механиза-
ция и автоматизация.
Герметизация корпусов фотоприборов является одной из важней-
ших операций технологического процесса, так как от качества ее вы-
полнения зависит выход годных изделий и их надежность. Поэтому
при герметизации необходимо соблюдать некоторые специфические
требования, а именно:
•
процесс должен обеспечивать герметичность корпусов;
•
во избежание повреждений элементов конструкции прибора
должно обеспечиваться минимальное термомеханическое воздействие
на спай стекло–металл и на полупроводниковую структуру;
•
процесс и оборудование должны обеспечивать получение ста-
бильного качества соединений в условиях массового производства;
•
процесс должен быть пригодным для механизации и автомати-
зации.
Отметим, что к некоторым типам фотоприборов предъявляются
жесткие требования по сохранению конструктивных размеров, что
связано с условиями их дальнейшего использования в аппаратуре.
Корпус фотоприбора (рис. 1) представляет собой тонкостенный ци-
линдр
1
с впаянным оптическим стеклом
2
. Внутри цилиндра размеща-
ется ножка
3
с гермовыводами
4
, которая предназначена для крепления
полупроводниковой структуры и точной ее ориентации относительно
оптического окна;
5
— герметизирующий сварной шов. Материал кор-
пуса — ковар 29 НК. Для предохранения от коррозии детали корпуса
покрыты слоем никеля толщиной 3. . . 6 мкм.
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2012. № 2 95
