REFERENCES
[1] Hoffman D., Singh B., Thomas J. Handbook of Vacuum Science and Technology.
Burlington, Academic Press, 1998. 736 p.
[2] Demikhov K.E., Panfilov Yu.V., Nikulin N.K. Vakuumnaya tekhnika: Spravochnik
[Vacuum Technology. Handbook]. Moscow, Mashinostroenie Publ., 2009. 590 p.
[3] Rozanov L.N. Vakuumnaya tekhnika [Vacuum Technology. College textbook].
Moscow, Vyssh. shkola Publ., 2007. 390 p.
[4] Didenko A.N., Nikulin N.K., Protasov Yu.S., Fursey G.N. Vakuumnaya elektronika.
Ch.1. [Vacuum Electronics: Student training manual. Part 1]. Moscow, MGTU
im. N.E. Baumana Publ., 2008. 604 p.
[5] Demikhov K.E., Nikulin N.K. Optimizatsiya vysokovakuumnykh mekhanicheskikh
nasosov [Optimization of High-Vacuum Mechanical Pump]. Moscow, MGTU
im. N.E. Baumana Publ., 2010. 255 p.
[6] Deulin E.A., Mikhailov V.P., Panfilof Yu.V., Nevshupa R.A. Mechanics and Physics
of Precise Vacuum Mechanisms.
Fluid Mechanics and its Applications
. Dordrecht:
Springer, 2010, vol. 91. 234 p.
[7] Product Leitfaden. Alcatel Hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.
[8] Komponenten fur die Vakuumtechnik, Balzers-Pfeiffer GmbH, Balzers, 1996.
[9] Vakuum catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH, Marburg, 1993.
[10] Katalog HV300, Teil B., Leybold AG, Cologne, 1994.
[11] Vacuum product catalog, Varian Ass. Lexington. 1995–1998.
Статья поступила в редакцию 8.09.2015
Демихов Константин Евгеньевич — д-р техн. наук, профессор, заведующий кафед-
рой “Вакуумная и компрессорная техника” МГТУ им. Н.Э. Баумана.
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул.,
д. 5.
Demikhov K.E. —
D.Sc.(Eng.), Professor, Head of the Department of Vacuum and
Compressor Units, Bauman Moscow State Technical University.
Bauman Moscow State Technical University, 2-ya Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005
Russian Federation.
Очков Андрей Андреевич — аспирант, ассистент кафедры “Вакуумная и компрес-
сорная техника” МГТУ им. Н.Э. Баумана.
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул.,
д. 5.
Ochkov A.A. — Ph.D. student of the Department of Vacuum and Compressor Units,
Bauman Moscow State Technical University.
Bauman Moscow State Technical University, 2-ya Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005
Russian Federation.
Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:
Демихов К.Е., Очков А.А. Определение оптимальных параметров проточной ча-
сти турбомолекулярного вакуумного насоса // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.
Машиностроение. 2015. № 6. C. 121–129.
Please cite this article in English as:
Demikhov K.E., Ochkov A.A. Selecting optimality criteria in designing flow part
of turbomolecular vacuum pumps.
Vestn. Mosk. Gos. Tekh. Univ. im. N.E. Baumana,
Mashinostr.
[Herald of the Bauman Moscow State Tech. Univ., Mech. Eng.], 2015, no. 6,
pp. 121–129.
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение” 2015. № 6 129