8 / 9
Таблица 3
Распределение оптимальных параметров межлопаточных каналов
по ступеням при откачке азота
N
α
опт
,
◦
(
a/b
)
опт
τ
i
опт
1
45
1,4
2,529
2
25
0,7
4,251
3
25
0,5
5,574
4
15
0,5
6,059
5
15
0,5
6,063
6
15
0,5
6,065
7
15
0,5
6,065
8
15
0,5
6,065
9
15
0,5
6,065
Таблица 4
Распределение оптимальных параметров межлопаточных каналов
по ступеням при откачке аргона
N
α
опт
,
◦
(
a/b
)
опт
τ
i
опт
1
45
1,4
5,185
2
20
0,9
10,929
3
20
0,5
12,871
4
15
0,5
13,068
5
15
0,5
13,084
6
15
0,5
13,085
7
15
0,5
13,085
отсутствуют четкие доводы в пользу какого-либо приоритета, реко-
мендуется выбирать значение коэффициента
K
1
= 0
,
6
. . .
0
,
7
.
ЛИТЕРАТУРА
1.
Справочник
по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффмана,
Б. Сингха, Дж. Томаса. М.: Техносфера, 2011, 736 с.
2.
Вакуумная
техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин
и др. / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение,
2009. 590 с.
3.
Розанов Л.Н.
Вакуумная техника. М.: Высшая шк. 2007. 390 с.
4.
Вакуумная
электроника / А.Н. Диденко, Н.К. Никулин, Ю.С. Протасов,
Г.Н. Фурсей. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2008. 604 с.
5.
Демихов К.Е.
,
Никулин Н.К.
Оптимизация высоковакуумных механических на-
сосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.
6.
Mechanics
and Physics of Precise VacuumMechanisms / E.A. Deulin, V.P. Mikhailov,
Y.V. Panfilof, R.A. Nevshupa. Dordrecht: Springer, 2010, 234 p. (Fluid Mechanics
and its Applications: vol. 91).
7.
Product
Leitfaden. Alcatel Hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.
8.
Komponentenfur
dieVakuumtechnik, Balzers-Pfeiffer GmbH, Balzers, 1996.
9.
Vakuum
catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH, Marburg, 1993.
10.
Teil B.
,
Leybold A.G.
Katalog HV300, Cologne, 1994.
11.
Vacuum
product catalog, Varian Ass. Lexington, 1995–1998.
128 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2015. № 6