4 / 9
который определяет соотношение между полезной нагрузкой насоса
и величинами дополнительных потоков массы за счет перетеканий и
газовыделений. Причем, чем больше значение
K
1
, тем выше эффек-
тивность откачки ТМН.
В табл. 1 приведены результаты расчетов по определению мини-
мальных чисел колес
N
min
в проточной части турбомолекулярных ва-
куумных насосов при откачке водорода, азота и аргона для различных
значений коэффициента
K
1
.
Таблица 1
Минимальные значения числа колес
N
min
в пакете при откачке различных
газов
Газ
u
ср
, м/с
K
1
N
min
p
1
= 10
−
6
Па
p
1
= 10
−
7
Па
Водород
200
0,1
46
55
0,2
47
56
0,3
48
56
0,4
48
57
0,5
49
58
0,6
50
59
0,7
51
60
0,8
53
62
0,9
56
65
300
0,1
32
38
0,2
32
38
0,3
33
39
0,4
33
39
0,5
34
40
0,6
35
41
0,7
36
42
0,8
37
43
0,9
39
45
Азот
200
0,1
13
15
0,2
13
15
0,3
13
15
0,4
13
16
0,5
14
16
0,6
14
16
0,7
15
17
0,8
15
18
0,9
16
19
300
0,1
8
9
0,2
8
9
0,3
8
10
0,4
9
10
0,5
9
10
0,6
9
10
0,7
9
11
0,8
10
11
0,9
11
12
124 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2015. № 6