Определение оптимальных параметров проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса

1 / 9

ВАКУУМНАЯ, КОМПРЕССОРНАЯ
ТЕХНИКА И ПНЕВМОСИСТЕМЫ
DOI: 10.18698/0236-3941-2015-6-121-129
УДК 621.51
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИМАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ ПРОТОЧНОЙ
ЧАСТИ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА
К.Е. Демихов, А.А. Очков
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация
e-mail:
Турбомолекулярные вакуумные насосы получают все большее распространение
в различных областях науки и техники по целому ряду объективных причин.
Достаточно весомым аргументом при этом считается глубокая проработка
теоретических и расчетных аспектов описания рабочих процессов в проточной
части насоса. Все это позволяет решать различные задачи по оптимизации
параметров турбомолекулярных вакуумных насосов, что весьма важно при со-
временных требованиях к разрабатываемым вакуумным средствам откачки.
Рассмотрен созданный авторами метод расчета оптимальных параметров
рабочих колес в проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов при
условии минимизации их числа. Даны соответствующие рекомендации для ре-
шения конкретных технических задач.
Ключевые слова: вакуумный насос, проточная часть, рабочее колесо, межлопа-
точные каналы, откачная характеристика, быстрота откачки, степень повышения
давлений.
SELECTING OPTIMALITY CRITERIA IN DESIGNING FLOW PART
OF TURBOMOLECULAR VACUUM PUMPS
K.E. Demikhov, A.A. Ochkov
Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation
e-mail:
Turbomolecular vacuum pumps (TMP) are becoming more widespread in different
fields of science and technology nowadays due to a number of intrinsic reasons.
The valid argument for it is a deep consideration of theoretical and calculating
aspects concerning the description of operational processes in the flow part of a
turbomolecular vacuum pump. It allows solving different problems of improving
optimality criteria of turbomolecular vacuum pumps. It seems very important
considering the present-day requirements imposed on modern vacuum pumping
devices. The paper presents the authors’ unique calculation method for estimating
optimality criteria for impellers in the flow part of TMP, provided their amount
minimized. The recommendations for solving actual engineering problems are given.
Keywords: vacuum pump, flow part, impeller, blade channels, pumped characteristic,
pumping rate, compression ratio.
В последние годы турбомолекулярные вакуумные насосы (ТМН)
привлекают к себе все больше внимания исследователей в различ-
ных областях науки и техники благодаря тому, что высоковакуумные
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение” 2015. № 6 121