ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЕ И ТРАНСПОРТНОЕ
МАШИНОСТРОЕНИЕ
УДК 621.51
СОВРЕМЕННЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ РАЗВИТИЯ ВЫСОКОВАКУУМНЫХ
МЕХАНИЧЕСКИХ НАСОСОВ
К.Е. Демихов
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация
e-mail:
Турбомолекулярные вакуумные насосы широко применяются в самых различ-
ных областях науки и техники, в результате чего не ослабевает интерес к
проблеме создания новых видов насосов. Разработана теория рабочих процес-
сов в проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов при различных
условиях эксплуатации, одним из весомых показателей которой является воз-
можность выполнять расчеты основных параметров и характеристик таких
насосов с достаточной точностью, что позволяет исследовать влияние на них
различных факторов. Тем самым, наверное, для единственного высоковакуум-
ного насоса обеспечивается оптимизация его проточной части при различных
критериях оптимальности. Накоплена обширная база данных, позволяющая
создавать эффективные турбомолекулярные вакуумные насосы с различны-
ми исходными параметрами. Поэтому в настоящее время актуальной про-
блемой становится поиск перспективных направлений дальнейшего развития
турбомолекулярных вакуумных насосов. Рассмотрены современные направле-
ния совершенствования конструкций турбомолекулярных вакуумных насосов с
использованием комбинированных схем проточной части. Отмечены преиму-
щества использованных конкретных схем, даны рекомендации по области их
применения. Приведены результаты сравнительного анализа эффективности
использования различных схем проточной части турбомолекулярных вакуумных
насосов.
Ключевые слова
:
проточная часть, рабочее колесо, быстрота действия, параме-
тры откачки, предельное остаточное давление.
CURRENT TRENDS OF HIGH-VACUUM MECHANICAL PUMP
K.E. Demikhov
Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation
e-mail:
Turbomolecular vacuum pumps are widely applied in various spheres of science and
technology. That is why the interest in the problem of new types of pumps designing
never wanes. The theory of working processes in flow channel of turbomolecular
vacuum pumps at different operation conditions was developed. Thereby perhaps,
the optimization is ensured for a single high-vacuum mechanical pump and its
flow channel. A vast data base which allows creating of efficient turbomolecular
vacuum pumps with various initial parameter was pooled. That is why the search
of promising directions of further development of turbomolecular vacuum pumps
is currently becoming the issue of the day. Current trends of designs perfection of
turbomolecular vacuum pumps which use combined schemes of flow channels were
considered. Advantages of usage of certain design were shown and recommendations
of their usage sphere were given. The results of comparative analysis of usage of
different flow channel designs are provided.
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение” 2014. № 5 3
