каналов
λ
. Расчеты по оптимизации проточной части проводились для
критериев оптимальности: объем
V
пч
и масса
М
проточной части.
При этом проанализированы следующие схемы (см. таблицу): тра-
диционная проточная часть с осевым направлением потока (1), проточ-
ная часть с использованием на стороне всасывания осевых ступеней,
на стороне нагнетания ступеней с радиальным направлением потока
газа (от периферии к центру) (2); проточная часть с комбинированием
осевых ступеней (на всасывании) и молекулярных (на нагнетании) (3).
В результате сравнения расчетных данных выявлено, что приме-
нение комбинированных схем проточной части дает достаточное пре-
имущество по различным критериям оптимальности. Так, объем про-
точной части уменьшился от 1,3 до 1,8 раз в зависимости от быстроты
действия и рода откачиваемого газа, масса проточной части снижена
от 1,7 до 2 раз.
Степень выигрыша по объему проточной части выше в большин-
стве случаев при использовании схемы на основе осевых и барабанных
ступеней (вариант 2). При выборе в качестве критерия оптимальности
массы проточной части предпочтительней выглядит схема с осевы-
ми и молекулярными ступенями (вариант 3), особенно, когда рабочим
газом является водород.
Таким образом, применение созданного программного обеспече-
ния при разработке современных ТМН позволяет значительным обра-
зом повысить их эффективность за счет оптимизации основных пара-
метров и характеристик. Другим перспективным направлением даль-
нейшего совершенствования ТМН является разработка и использова-
ние новых конструктивных схем проточной части с учетом конкретных
условий эксплуатации насоса и возможности применения соответству-
ющих производственных технологий. И, конечно, как перспектива —
формализация основ полной структурной оптимизации при проекти-
ровании современных ТМН.
ЛИТЕРАТУРА
1.
Справочник
по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффмана,
Б. Сингха, Дж. Томаса III. М.: Техносфера, 2011. 736 с.
2.
Вакуумная
техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин
и др. / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение,
2009. 590 с.
3.
Оптимизация
высоковакуумных механических насосов / К.Е. Демихов,
Н.К. Никулин. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.
4.
Product
Leitfaden. Alcatel Hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.
5.
Komponenten
fur die Vakuumtechnik, Balzers–Pfeiffer GmbH, Balzers, 1996.
6.
Vakuum katalog
. Edwards. Hochvakuum. GmbH, Marburg, 1993.
7.
Katalog
HV300, Teil B., Leybold AG, Cologne, 1994.
8.
Vacuum
product katalog, Varian Ass. Lexington. 1995–1998.
10 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2014. № 5
