Рис. 3. Конструктивные схемы ВМН
с адсорбционным насосом на стороне
нагнетания (
а
) и осевым и радиаль-
ным потоком газа в роторе (
б
)
к оси и от нее. Это приводит к уве-
личению создаваемой протяжен-
ными каналами степени повыше-
ния давлений в ограниченных габа-
ритных размерах проточной части
ТМН.
Другим перспективным напра-
влением совершенствования кон-
струкции ВМН является объеди-
нение в проточной части насоса
элементов вакуумного ТМН и дру-
гих видов высоковакуумных насо-
сов, основанных на иных принци-
пах откачки.
Предложена конструкция ТМН
(рис. 3,
а
), в специальных полостях
выходящих статорных колес кото-
рого размещают адсорбент. Это по-
зволяет обеспечить дополнитель-
ную откачку газа в этих коле-
сах. Для повышения эффективно-
сти поглощения газа эти коле-
са (расположенные на стороне на-
гнетания насоса) охлаждаются до
80. . . 100 K жидким азотом, пода-
ваемым в специальную рубашку
охлаждения, расположенную в ва-
куумной полости. Применение та-
кой схемы проточной части ВМН позволяет не использовать масляные
форвакуумные насосы для обеспечения предварительного разрежения
при запуске насоса от атмосферного давления, так как эту функцию
будет выполнять адсорбент. Причем его регенерация при насыщении
может осуществляться без остановки ТМН и отсоединения от системы
откачки.
Как известно, для откачки газовых сред, содержащих твердые ма-
крочастицы, не рекомендуется применять ТМН без специальной за-
щиты, так как это приводит к определенному ухудшению откачных
параметров.
Были разработаны конструкции ТМН с переменным направлением
потока, не содержащие статорные колеса. Это позволяет откачивать
газовые среды с содержанием твердых макрочастиц, что очень важно
для различных напылительных установок. Один из вариантов насоса
показан на рис. 3,
б
.
6 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2014. № 5
