Наталия Лазаревна Нарская окончила МВТУ им
.
Н
.
Э
.
Баума
-
на в
1974
г
.
Канд
.
техн
.
наук
,
доцент кафедры
“
Теоретическая
механика
”
МГТУ им
.
Н
.
Э
.
Баумана
.
Автор более
20
научных
работ в области расчетов на прочность
,
механики пневмати
-
ческих шин
.
N.L. Narskaya graduated from the Bauman Higher Technical
School in 1974. Ph. D. (Eng.), assoc. professor of the “Theoretical
Mechanics” department of the Bauman Moscow State Technical
University. Author of more than 20 publications in the field of
strength calculations, pneumatic tire mechanics.
МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ
УДК
621.382
В
.
Н
.
Н е в о л и н
,
А
.
Г
.
Г н е д о в е ц
,
В
.
Ю
.
Ф о м и н с к и й
,
В
.
Е
.
К о ш м а н о в
,
В
.
Ш а р ф ф
(W. Scharff)
(
Московский инженерно
-
физический институт
(
Государственный университет
))
МОДЕЛИРОВАНИЕ ИОННО
-
ИМПЛАНТАЦИОН
-
НОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ
Методом
“
частиц в ячейках
” (PIC)
проведено моделирование раз
-
лета импульсной лазерной плазмы в интенсивном внешнем электри
-
ческом поле
,
используемом для ускорения ионов при имплантацион
-
ной обработке материалов
.
Исследованы динамика ионной и элек
-
тронной компоненты
,
а также особенности распределения потен
-
циала при подключении к обрабатываемой детали отрицательных
высоковольтных импульсов различной формы
.
Проведено сравнение
расчетных и экспериментально измеренных токовых и дозовых ха
-
рактеристик формируемого ионного пучка
.
Показана возможность
применения разработанной модели для оптимизации требований к
технологическим параметрам и оборудованию
.
Методика ионно
-
имплантационной обработки материалов в им
-
пульсной лазерной плазме отличается высокой универсальностью и
простотой технической реализации
[1].
Для получения плазмы исполь
-
зуют импульсное лазерное излучение
,
способное испарять и ионизо
-
вать самые различные материалы
.
В момент разлета плазмы от мишени
к обрабатываемой подложке прикладывается высоковольтный импульс
28 ISSN 0236-3941.
Вестник МГТУ им
.
Н
.
Э
.
Баумана
.
Сер
. “
Машиностроение
”. 2004.
№
3
