Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса, обеспечивающего требуемые параметры откачки

Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса…

ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 6

Demikhov K.E.

— Dr. Sci. (Eng.), Professor, Head of Vacuum and Compressor Equipment

Department, Bauman Moscow State Technical University (2-ya Baumanskaya ul. 5, Moscow,

105005 Russian Federation).

Ochkov A.A.

— Assistant Lecturer of Vacuum and Compressor Equipment Department,

Bauman Moscow State Technical University (2-ya Baumanskaya ul. 5, Moscow, 105005 Rus-

sian Federation).

Рlease cite this article in English as:

Demikhov K.E., Ochkov A.A.

Specifics of Selecting a Backing Pump for a Turbomolecular

Vacuum Pump Providing Neccessary Pumping Parameters.

Vestn. Mosk. Gos. Tekh. Univ.

im. N.E. Baumana, Mashinostr.

[Herald of the Bauman Moscow State Tech. Univ., Mech.

Eng.], 2016, no. 6, pp. 89–95. DOI: 10.18698/0236-3941-2016-6-89-95