Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса, обеспечивающего требуемые параметры откачки

5 / 7

Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса…
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 6 93
сплавов (рабочие колеса) qн = 5 ∙ 10–9 м3  Па/с [4]. Температура рабочих поверх-
ностей насоса принималась T = 293 K.
Как следует из полученных расчетных данных, при увеличении значения
давления всасывания ТМН возрастают требуемые параметры откачки ФН. По-
этому в целях обеспечения заданной характеристики ТМН во всем диапазоне
давлений от 10–6 до 10–1 Па необходимо выбирать ФН с соответствующим зна-
чением быстроты действия для всего заданного диапазона p. Отметим, что для
рассмотренных примеров Sф составляет 17 % соответствующего значения быст-
роты действия ТМН Sн.
На рис. 2 графически приведены
откачные характеристики ТМН с
быстротой действия Sн = 1 м3/с и тре-
буемого для него ФН. Конкретный ФН
необходимо выбирать из условия, что
его откачная характеристика соответ-
ствует расчетной Sф = f (pф) [5–9].
Таким образом, данная методоло-
гия позволяет определить необходи-
мые минимальные параметры ФН,
обеспечивающие заданные условия
откачки на стороне всасывания ТМН,
имеющего оптимальные геометриче-
ские характеристики.
ЛИТЕРАТУРА
1. Справочник по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффмана, Б. Сингха,
Дж. Томаса III. М.: Техносфера, 2011. 736 с.
2. Вакуумная техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др. /
под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
3. Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов.
М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.
4. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Королев Б.И., Кузнецов В.И. Основы вакуумной техни-
ки. М.: Энергоиздат, 1981. 432 с.
5. Vacuum product catalog. Varian Ass. Lexington. 1995–1998.
6. Product leitfaden. Alcatel hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.
7. Komponenten für die vakuumtechnik. Balzers-Pfeiffer GmbH. Balzers, 1996.
8. Vakuum catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH. Marburg, 1993.
9. Katalog HV300, Teil B., Leybold AG. Cologne, 1994.
Демихов Константин Евгеньевич — д-р техн. наук, профессор, заведующий кафедрой
«Вакуумная и компрессорная техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация,
105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5).
Рис. 2. Откачные характеристики
ТМН-1000 (кривая 1) и соответствующего
ФН (кривая 2)