3 / 7
Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса…
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 6
91
Рис. 1.
Блок-схема программы расчетов оптимальных параметров ФН для ТМН
Параметры ФН, необходимые для обеспечения быстроты действия
S
н
различных ТМН при
p
= 10
–6
…10
–1
Па
Давление на стороне
всасывания ТМН, Па
Давление ФН, Па
Скорость
откачки ФН, л/с
S
н
= 0,1 м
3
/с
10
–6
0,01
0,011
10
–5
0,04
0,025
10
–4
0,1
0,103