Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса, обеспечивающего требуемые параметры откачки

ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 6

УДК 621.51

DOI: 10.18698/0236-3941-2016-6-89-95

ОСОБЕННОСТИ ВЫБОРА ФОРВАКУУМНОГО НАСОСА

ДЛЯ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА,

ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕГО ТРЕБУЕМЫЕ ПАРАМЕТРЫ ОТКАЧКИ

К.Е. Демихов

ked@bmstu.ru

А.А. Очков

aochkov@bmstu.ru

МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация

Аннотация

Ключевые слова

Приведены результаты исследования влияния пара-

метров форвакуумного насоса на параметры откачки

турбомолекулярного вакуумного насоса. На основании

разработанной авторами программы расчета впервые

получены данные о взаимном влиянии их откачных

характеристик, позволяющие выбирать конкретные

виды насосов при условии обеспечения оптимальных

параметров всей откачной системы. Даны рекоменда-

ции по определению соотношения максимальных

значений быстроты действия форвакуумного и турбо-

молекулярного вакуумных насосов

Быстрота действия, давление

всасывания, откачная характе-

ристика, проточная часть

Поступила в редакцию 06.10.2016

©МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016

Турбомолекулярные вакуумные насосы (ТМН), широко применяемые в насто-

ящее время, традиционно относят к категории высоковакуумных средств от-

качки, в проточной части которых обеспечивается в основном молекулярный

режим течения газа [1–3]. При этом одним из весомых преимуществ таких насо-

сов является возможность поддержания рабочих параметров откачки в доста-

точно широком диапазоне давлений газа, когда при повышенных давлениях в

ступенях на стороне нагнетания имеет место существенное нарушение молеку-

лярного режима течения. Все это неизбежно приводит к снижению параметров

откачки в этих ступенях: уменьшению создаваемых быстроты откачки

и сте-

пени повышения давлений τ. Поэтому в целях компенсации этого явления при

определении параметров пакета колес ТМН приходится либо увеличивать не-

обходимое их число, либо завышать геометрические размеры проточной части.

Все это приводит к ощутимому росту массогабаритных параметров насоса.

Имеется также вариант решения данной проблемы, связанный с увеличени-

ем параметров откачки форвакуумного насоса (ФН), работающего совместно с

данным ТМН.

Как показали результаты проведенных исследований [1], при увеличении

быстроты откачки

ФН возможно повышение быстроты действия

ТМН в

области относительно высоких значений давления всасывания

При этом имеет место как бы определенное перераспределение нагрузки в

процессе откачки между высоковакуумным и форвакуумным насосами в соста-