Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолекулярного вакуумного насоса, обеспечивающего требуемые параметры откачки

К.Е. Демихов, А.А. Очков

ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 6

Очков Андрей Андреевич

— ассистент кафедры «Вакуумная и компрессорная техника»

МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5).

Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:

Демихов К.Е., Очков А.А. Особенности выбора форвакуумного насоса для турбомолеку-

лярного вакуумного насоса, обеспечивающего требуемые параметры откачки // Вестник

МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 6. C. 89–95.

DOI: 10.18698/0236-3941-2016-6-89-95

SPECIFICS OF SELECTING A BACKING PUMP FOR A TURBOMOLECULAR

VACUUM PUMP PROVIDING NECCESSARY PUMPING PARAMETERS

K.E. Demikhov

ked@bmstu.ru

A.A. Ochkov

aochkov@bmstu.ru

Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation

Abstract

Keywords

The paper describes the results of investigating the influence

of the backing pump parameters on the pumping parameters

of the turbo vacuum pump. On the basis of the calculation

program developed, we for the first time obtained the data on

the mutual influence of their pumping performance. These

data allowed us to select specific types of pumps while ensur-

ing optimal parameters throughout the pumping system. We

also give some recommendations on determining the ratio

between the maximum values of the fast action of the backing

and turbomolecular vacuum pumps

Fast action, suction pressure,

pumping performance, flowing

part

REFERENCES

[1] Dorothy M. Hoffman, Bawa Singh, John H. Thomas III and John H. Thomas III, eds.

Handbook of vacuum science and technology. Academic Press, 1997. 835 p. (Russ. ed.:

Spravochnik po vakuumnoy tekhnike i tekhnologiyam Moscow, Tekhnosfera Publ., 2011.

736 p.).

[2] Demikhov K.E., Panfilov Yu.V., Nikulin N.K., et al. Vakuumnaya tekhnika [Vacuum tech-

nique]. Moscow, Mashinostroenie Publ., 2009. 590 p.

[3] Demikhov K.E., Nikulin N.K. Optimizatsiya vysokovakuumnykh mekhanicheskikh naso-

sov [High-vacuum mechanical pump optimization]. Moscow, Bauman MSTU Publ., 2010.

255 p.

[4] Pipko A.I., Pliskovskiy

V.Ya

., Korolev B.I., Kuznetsov V.I. Osnovy vakuumnoy tekhniki

[Vacuum technique fundamentals]. Moscow, Energoizdat Publ., 1981. 432 p.

[5] Vacuum product catalog. Varian Ass. Lexington. 1995–1998.

[6] Product leitfaden. Alcatel hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.

[7] Komponenten für die vakuumtechnik. Balzers-Pfeiffer GmbH. Balzers, 1996.

[8] Vakuum catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH. Marburg, 1993.

[9] Katalog HV300, Teil B., Leybold AG. Cologne, 1994.