a displacement of the contact point in a profile channel of the scroll pump increases
the backward leakage. A leakage through the moving profile channel of the scroll
pump is calculated for the molecular and viscous gas flow regimes. The conductance
in the molecular flow regime may increase by a factor of 10–15 in comparison to
the channel with fixed walls. In the viscous flow regime, even with critical pressure
ratios, an increase in the wall speed up to 50 m/s results in the mass leakage growth
by 15–45%. When gas flow regimes are subcritical, the effect of wall speed is more
significant.
Keywords
:
scroll vacuum pump, conductance, slot channel, moving wall, clearance,
backward leakage.
Спиральная машина в безмасляном исполнении, будь то вакуум-
ный насос или компрессор, является типичным представителем бес-
контактных конструкций, в которых “сухой” процесс достигается за
счет наличия зазоров между движущимися элементами (рис. 1). При-
чем именно отсутствие масла является одним из главных достоинств
вакуумных спиральных насосов (НВСп), определяющих сферу их
применения: установки получения конструкционных и биосовмести-
мых материалов, нанокерамики, технологии создания чувствительных
элементов миниатюрных датчиков на основе нанопленок, индустрия
нанесения наноструктурированных покрытий в вакууме, включая
ионно-плазменные, дуговые и электронно-лучевые методы, техноло-
гии изготовления фотоэлементной аппаратуры для солнечной энерге-
Рис. 1. Спиральный вакуумный насос:
1
— корпус, выполненный заодно с неподвижной спиралью,
2
— подвижная спираль,
3
— торцевая уплотнительная лента
74 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2014. № 4
