Расчет проводимости профильных щелевых каналов бесконтактных безмасляных вакуумных насосов в вязкостном режиме течения газа - page 6

Таблица
Проводимость канала 2
p
1
, Па
τ
=
p
2
/p
1
U
числ
, м
3
U
(1)
, м
3
U
числ
U
(1)
U
(1)
, %
p
1
, Па
τ
=
p
2
/p
1
U
числ
, м
3
U
(1)
, м
3
U
числ
U
(1)
U
(1)
, %
R
1
= 120
мм,
R
2
= 90
мм,
δ
= 0
,
05
мм
R
1
= 50
мм,
R
2
= 49
мм,
δ
= 0
,
1
мм
5000
0,1 0,0000287 0,000029
1,15
5000
0,1 0,000060 0,000063
4,54
0,2 0,0000313 0,000032
1,15
0,2 0,000066 0,000069
4,53
0,5 0,0000392 0,000040
1,15
0,5 0,000082 0,000086
4,53
0,9 0,0000497 0,000050
1,11
0,9 0,000104 0,000109
4,54
0,99 0,0000521 0,000053
0,92
0,99 0,000109 0,000114
4,54
10000
0,1 0,0000573 0,000058
1,20
10000
0,1 0,000120 0,000126
4,51
0,2 0,0000626 0,000063
1,18
0,2 0,000131 0,000137
4,50
0,5 0,0000783 0,000079
1,15
0,5 0,000164 0,000172
4,52
0,9 0,0000993 0,000100
1,14
0,9 0,000208 0,000218
4,54
0,99 0,0001042 0,000105
0,98
0,99 0,000218 0,000228
4,54
50000
0,1 0,0002743 0,000276
0,49
50000
0,1 0,000572 0,000593
3,56
0,2 0,0003016 0,000303
0,30
0,2 0,000629 0,000651
3,38
0,5 0,000388 0,000387
– 0,23
0,5 0,000805 0,000836
3,65
0,9 0,0004959 0,000502
1,16
0,9 0,001038 0,001088
4,54
0,99 0,0005199 0,000526
1,15
0,99 0,001089 0,001141
4,54
90000
0,1 0,0004588 0,000451
– 1,77
90000
0,1 0,000936 0,000958
2,22
0,2 0,0005088 0,000499
– 1,98
0,2 0,001042 0,001061
1,84
0,5 0,0006738 0,000662
– 1,75
0,5 0,001392 0,001419
1,88
0,9 0,0008910 0,000901
1,07
0,9 0,001864 0,001951
4,49
0,99 0,0009358 0,000947
1,15
0,99 0,001959 0,002053
4,54
76 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2013. № 4
1,2,3,4,5 7,8,9,10
Powered by FlippingBook