Определение эффективного диапазона давлений газа на стороне всасывания…
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 5
93
Поэтому смещение откачной характеристики ТМН в область низких давле-
ний газа вряд ли может быть оправданным.
Таким образом, наиболее эффективным диапазоном рабочих давлений газа
на стороне всасывания ТМН с оптимальными характеристиками можно считать
диапазон
p
вс
= 10
–6
…10
–1
(10
–2
) Па.
Если необходимо расширить диапазон создаваемых в откачиваемом объеме
давлений, то следует предусматривать использование в совокупности с ТМН
других видов средств откачки, отличающихся эффективной работой при соот-
ветствующих значениях давления газа.
ЛИТЕРАТУРА
1.
Демихов К.Е., Никулин Н.К.
Оптимизация высоковакуумных механических насосов.
М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.
2.
Справочник
по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффман, Б. Сингха,
Дж. Томаса. М.: Техносфера, 2011. 736 с.
3.
Вакуумная
техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др. /
под общ. pед. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
4.
Розанов Л.Н.
Вакуумная техника. М.: Высш. шк., 2007. 390 с.
5.
Product
Leitfaden. Alcatel Hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.
6.
Komponenten
für dieVakuumtechnik, Balzers-Pfeiffer. GmbH, Balzers, 1996.
7.
Vakuum
catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH, Marburg, 1993.
8.
Katalog
HV300, Teil B., Leybold AG. Cologne, 1994.
9.
Vacuum
product catalog. Varian Ass, Lexington, 1995–1998.
10.
Демихов К.Е.
Особенности оптимизации проточной части высоковакуумных меха-
нических насосов в широком диапазоне давлений // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Сер. Машиностроение. 2012. № 3. С. 80–86.
11.
Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А.
Конструирование и расчет вакуумных
систем. М.: Энергия, 1970. 504 с.
Демихов Конcтантин Евгеньевич
— д-р техн. наук, профессор, заведующий кафедрой
«Вакуумная и компрессорная техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация,
105005, Москва, 2-я Бауманская ул., д. 5).
Очков Андрей Андреевич
— аспирант, ассистент кафедры «Вакуумная и компрессор-
ная техника» МГТУ им. Н.Э. Баумана (Российская Федерация, 105005, Москва, 2-я Бау-
манская, д. 5).
Просьба ссылаться на эту статью следующим образом:
Демихов К.Е., Очков А.А. Определение эффективного диапазона давлений газа на стороне
всасывания турбомолекулярного вакуумного насоса // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Сер. Машиностроение. 2016. № 5. C. 89–95. DOI: 10.18698/0236-3941-2016-5-89-95