3 / 7
Определение эффективного диапазона давлений газа на стороне всасывания…
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 5
91
Окончание таблицы
Заданный диапазон
рабочих давлений
газа, Па
Максимальная
быстрота откачки
S
н
, м
3
/с
Условный объем
проточной части
A
, м
2
Наружный
диаметр колес
D
2
, м
Число
рабочих
колес в
пакете
N
Вариант
б
10
–6
… 10
–2
1,5
1,367
0,320
17
10
-7
… 10
-2
1,5
1,367
0,320
17
10
–6
… 10
–1
1,66
1,498
0,335
17
10
–7
… 10
–1
1,66
1,498
0,335
17
10
–6
… 1
15
18,064
1,0
23
10
–7
… 1
15
18,064
1,0
23
10
–6
… 10
15
24,35
1,0
31
10
–7
… 10
15
24,35
1,0
31
Вариант
в
10
–6
… 10
–2
5,0
4,49
0,580
17
10
–7
… 10
–2
5,05
4,57
0,585
17
10
–6
… 10
–1
8,2
7,31
0,740
17
10
–7
… 10
–1
8,2
7,31
0,740
17
10
–6
… 1
50,0
70,63
1,825
27
10
–7
… 1
50,0
70,63
1,825
27
10
–6
… 10
50,0
91,56
1,825
35
10
–7
… 10
50,0
91,56
1,825
35
Общий вид откачных характеристик турбомолекулярных вакуумных насо-
сов с номинальными значениями быстроты откачки
S
p
= 0,5 м
3
/с и
S
p
= 1,5 м
3
/с в
разных диапазонах давлений газа представлены соответственно на рисунке.
Как следует из таблицы, при увеличении наибольшего в диапазоне давления
газа (от 10
–2
до 10 Па) необходимая максимальная быстрота откачки
S
н
(для
обеспечения номинального значения
S
p
во всем диапазоне) возрастает пример-
но в 10 раз, минимальный условный объем проточной части — в 17–20 раз. Это
вызвано нарушением молекулярного режима течения газа в значительной части
объема проточной части ТМН и необходимостью компенсировать ухудшение
параметров откачки рабочими колесами (увеличением геометрических разме-
ров) [1]. Причем для насосов с большей быстротой действия этот процесс начи-
нается уже при давлении более 10
–2
Па, в то время как для малых насосов при
p
> 10
–1
Па.
При необходимости реализации поставленного условия в области доста-
точно низких давлений газа (10
–6
…10
–7
Па) возникает проблема, связанная с
увеличением дополнительных потоков газа на стороне всасывания в результате
газовыделений с внутренних поверхностей насоса. Это может привести к необ-