Определение эффективного диапазона давлении газа на стороне всасывания турбомолекулярного вакуумного насоса

ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2016. № 5

УДК 621.51

DOI: 10.18698/0236-3941-2016-5-89-95

ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОГО ДИАПАЗОНА ДАВЛЕНИЙ ГАЗА

НА СТОРОНЕ ВСАСЫВАНИЯ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО

НАСОСА

К.Е. Демихов

ked@bmstu.ru

А.А. Очков

aochkov@bmstu.ru

МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация

Аннотация

Ключевые слова

При проектировании современных вакуумных средств

откачки одной из проблем является обоснованный выбор

конкретных видов вакуумных насосов для обеспечения

требуемых параметров газа на стороне всасывания,

например, диапазона давлений откачиваемого газа.

В настоящее время широкое распространение получили

турбомолекулярные вакуумные насосы, имеющие весо-

мые преимущества перед другими средствами откачки.

На основании созданных в МГТУ им. Н.Э. Баумана мето-

дов расчета проведены исследования по определению

диапазона давлений газа на всасывании, в котором тур-

бомолекулярные вакуумные насосы являются предпочти-

тельными при обеспечении оптимальных характеристик.

Даны рекомендации по выбору диапазона рабочих давле-

ний турбомолекулярных вакуумных насосов, в котором

они наиболее эффективны по сравнению с другими ви-

дами вакуумных средств откачки

Турбомолекулярный вакуумный

насос, откачная характеристи-

ка, давление газа, сторона всасы-

вания насоса

Поступила в редакцию 27.05.2016

Выбор наиболее эффективного диапазона работы вакуумного насоса всегда яв-

ляется важной и актуальной проблемой в вакуумной технике. Каждому виду

вакуумных средств откачки в зависимости от физических принципов действия

соответствует определенный диапазон рабочих параметров по условиям всасы-

вания. Именно это обстоятельство — важный критерий при выборе конкретно-

го вида вакуумного насоса для конкретного случая. Причем для каждого сред-

ства откачки существует также определенный собственный диапазон возмож-

ного изменения рабочих параметров на стороне всасывания, который обеспе-

чивает достаточную эффективность его работы с учетом соответствующих кри-

териев оценки.

Очевидным достоинством турбомолекулярных вакуумных насосов (ТМН)

является достаточно широкий диапазон возможного обеспечения давлений газа

на стороне всасывания [1–9]. Причем абсолютные значения давления всасыва-

ния зависят от целого ряда факторов: рода газа, геометрических параметров

насоса, величины внутренних газовыделений материалов, из которых изготов-

лена проточная часть насоса.