Экспериментальное исследование технологического ускорителя с анодным слоем "Радикал" без катода-компенсатора - page 1

Феликс Иванович Антонюк родился в 1941 г., окончил в 1967 г.
Московский станкоинструментальный институт. Канд. техн.
наук, доцент кафедры “ Технология машиностроения” Калуж-
ского филиала МГТУ им. Н.Э . Баумана. Автор более 30 науч-
ных работ в области технологии обработки металлов давле-
нием.
F.Ye. Antonyuk (b. 1941) graduated from the Moscow Machines
and Tools Institute in 1967. Ph. D (Eng), assoc. professor of
“Technology of Mechanical Engineering” department of the
Kaluga Branch of the BaumanMoscow State Technical University.
Author of more than 30 publications in the field of technology of
metals treatment by pressure.
Андрей Геннадьевич Вяткин родился в 1961 г., окончил в
1986 г. МВТУ им. Н. Э. Баумана. Старший преподаватель ка-
федры “ Технология машиностроения” Калужского филиала
МГТУ им. Н .Э . Баумана. Автор 10 научных работ в области
технологии обработки металлов давлением.
A.G. Vyatkin (b. 1961) graduated from the Bauman Moscow
Higher Technical School in 1986. Senior teacher of “Technology
of Mechanical Engineering” department of the Kaluga Branch
of the Bauman Moscow State Technical University. Author of
10 publications in the field of technology of metals treatment by
pressure.
УДК 533.92; 621.384.647
Д . В. Д у х о п е л ь н и к о в, А. А. Ю р ч е н к о
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО УСКОРИТЕЛЯ
С АНОДНЫМ СЛОЕМ “РАДИКАЛ” БЕЗ КАТОДА -
КОМПЕНСАТОРА
Приведены результаты измерений тока ионного пучка, массового
коэффициента полезного действия , доли ионного тока в разрядном
токе, а также распределения разрядного тока в элементах техно-
логического ускорителя “Радикал”. Показано, что энергетическая
и массовая эффективность такого ускорителя значительно ниже ,
чем у аналогичного по устройству ионно-плазменного двигателя с
анодным слоем.
Технологический источник ионов “Радикал” широко применяется
в вакуумно-плазменных технологиях для травления и очистки поверх -
ности [1]. Ускоритель “ Радикал” выполнен по схеме ускорителя с анод -
ным слоем (УАС ) [2] без катода -компенсатора (рис. 1, a). По такой же
схеме, но с катодом -компенсатором для нейтрализации ионного пyчкa,
выполнены иoннo-пл aзмeнныe двигатели с анодным слоем (ДАС) [2].
74 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана . Сер. “Машиностроение”. 2004. № 3