,
,
УДК
531.781.2
А
.
И
.
К о т о в
, A. E.
О б у ш е в
,
Е
.
М
.
П а в л о в
ВЫБОР ГЕОМЕТРИИ ИНТЕГРАЛЬНОГО ТЕНЗО
-
ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ КОНСОЛЬНОГО ТИПА
Проанализировано напряженно
-
деформированное состояние ряда
моделей кремниевых интегральных тензопреобразователей числен
-
ным методом
.
Приведены рекомендации по выбору рациональной
геометрии преобразователей консольного типа
,
соответствующей
наибольшему диапазону измеряемых величин при максимально воз
-
можной предельной деформации и достаточном запасе прочности
.
Принцип действия тензометрических преобразователей
[1],
или
тензорезисторов
,
основан на изменении электрического сопротивле
-
ния материалов их чувствительных элементов при деформировании
.
Предпочтительными являются полупроводниковые интегральные тен
-
зопреобразователи
,
отличающиеся высокой чувствительностью и от
-
личными метрологическими качествами
,
а также возможностью ми
-
ниатюризации
.
Интегральные тензопреобразователи содержат обычно
полные мостовые схемы
.
Рассмотрим одну из типовых конструкций полупроводникового
чувствительного элемента
(
акселерометра консольного типа
)
разме
-
ром
b
×
l
(
b
= 1
мм
;
l
= 3
,
4
мм
),
состоящего из трех частей
(
рис
. 1).
Рис
. 1.
Типовая конструкция полупроводникового чувствительного элемента
112 ISSN 0236-3941.
Вестник МГТУ им
.
Н
.
Э
.
Баумана
.
Сер
. "
Машиностроение
". 2003.
№
3
