Рис. 1. Схема параллельной откачки вакуумного объема
откачки) несколькими насосами, приведена на рис. 1. Выходными па-
раметрами для расчета являются откачные характеристики насосов
S
1
(
p
1
)
,
S
2
(
p
2
)
и их суммарная откачная характеристика
S
с
(
p
1
)
, обеспе-
чивающая получение заданных входных параметров
Q
и
p
для данного
состава откачиваемого газа. Откачные характеристики насосов пред-
ставляют собой зависимость быстроты действия насоса
S
[м
3
/с] от
давления всасывания
р
1
системы.
Данная схема откачки реализуется высоковакуумной откачной
установкой на базе турбомолекулярного, комбинированного турбомо-
лекулярного и молекулярно-вязкостного вакуумных насосов.
Для такой расчетной схемы входными параметрами являются
откачные характеристики рабочих элементов насоса
S
max
i
и
τ
max
i
,
откачиваемые потоки газов
Q
i
через каждый вход, геометрические
параметры насосов и соединительных магистралей, давление
р
2
в объ-
еме
V
2
. Расчетными (выходными параметрами) являются суммарная
быстрота откачки системы
S
max
.
с
и максимальное отношение давле-
ний, создаваемое системой насосов
τ
max
.
с
, или предельное остаточное
давление в камере
p
min 1
.
При откачке газа из одного объема в другой параллельно дву-
мя насосами (
V N
1
и
V N
2
)
с разными откачными характеристиками
(
S
max 1
6
=
S
max 2
и
τ
max 1
6
=
τ
max 2
)
основные откачные параметры
S
max
.
с
и
τ
max
.
с
вакуумной системы определяются характеристиками этих на-
сосов.
Суммарный поток
Q
разбивается на два потока
Q
1
и
Q
2
, отка-
чиваемые соответствующими насосами:
Q
=
Q
1
+
Q
2
, причем
Q
=
=
S
с
p
1
= (
S
1
+
S
2
)
p
1
, где
S
с
— быстрота откачки газа камеры двумя
насосами при давлении всасывания
p
1
;
S
1
,
S
2
— быстрота откачки газа
камеры насосом ВН
1
, ВН
2
при давлении всасывания
p
1
.
Отношения давлений, обеспечиваемые каждым из насосов, равны
между собой, т.е.
τ
2
=
τ
1
=
p
2
/p
1
(при проводимости соединительных
трубопроводов
U S
1
, S
2
)
.
Соответственно быстрота действия каждого насоса будет
S
1
=
S
max 1
∙
(
τ
max 1
−
τ
1
)
/
(
τ
max 1
−
1);
(1)
S
2
=
S
max 2
∙
(
τ
max 2
−
τ
1
)
/
(
τ
max 2
−
1)
.
(2)
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2007. № 3 63
