Некоторые характеристики покрытий
[
9, 29
]
Образцы
AC8
AC5
Потенциал поляризации подложки, В. . . . . . . . . . . . . . . – 800
– 500
Процентное содержание водорода, % (ат.) . . . . . . . . . . 34
40
Относительная доля связанного водорода,
0,57
0,73
в том числе доля водорода, связанного с C sp
3
. . . . . . 0,43 (76%) 0,55 (75%)
C sp
2
, % (ат.) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
39
C sp
3
, % (ат.) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
21
в камере измерялось ионизационным вакуумметром
8
. При смене
образцов камера вентилировалась сухим азотом при помощи системы
напуска газов
7
. Предельное давление в камере составляло
10
−
8
Па.
Плоский образец
4
с нанесенным покрытием имел размеры
8
×
10
мм.
Контртело
3
представляло собой цилиндр из стали ШХ15, у которого
один из торцев имел зеркально-отполированную сферическую по-
верхность радиусом 8 мм, являющуюся контактной поверхностью при
трении. Возвратно-поступательное перемещение совершали при по-
стоянной нормальной нагрузке 3 Н со скоростью скольжения 2 мм/с и
длиной одного прохода 4 мм. Одновременно при помощи квадруполь-
ного масс-спектрометра измеряли ионные токи для массовых чисел
от 1 до 85 . Значение силы трения и ионные токи, соответствующие
парциальным давлениям разных газов, оцифровывались и записыва-
лись компьютером. Продолжительность одного цикла сканирования
масс-спектрометра составляла 10,8 с.
Рис. 1. Схема стенда для изме-
рения трибодесорбции:
1
— вакуумная камера;
2
— масс-
спектрометр (МС);
3
— контрте-
ло;
4
— образец;
5
— турбомо-
лекулярный насос;
6
— механи-
ческий насос;
7
— система на-
пуска газов;
8
— ионизационный
вакуумметр;
9
— система нагру-
жения и контроля приложенной
нагрузки;
10
— привод возвратно-
поступательного движения
56 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2008. № 3
