Трибостимулированная десорбция газов из тонкопленочных покрытий аморфного углерода в сверхвысоком вакууме - page 10

и H
1
в
(
R
э
> R
tab
). Для обоих массовых чисел была принята гипотеза
H
1
б
при критическом уровне значимости
α
= 0
,
05
; это означает, что
выборочные средние значения статистически значимы меньше, чем
эталонные. Данный результат свидетельствует о том, что ионы с мас-
совыми числами 12. . .16 являются продуктами ионизации метана в
ионизационной камере масс-спектрометра, а присутствие метильных
радикалов в десорбирующихся газах не подтверждается. Несколько
заниженные значения для массовых чисел 14 и 15 по отношению к
эталонному спектру могут быть связаны с погрешностью калибровки
масс-спектрометра. Другой причиной погрешности может быть огра-
ниченность динамического диапазона масс-спектрометра при изме-
рении быстропротекающих процессов в секвенциальном режиме, т.е.
последовательном сканировании разных масс. Продолжительность из-
мерения для каждого массового числа составляла
125
мс, а для 5
массовых чисел 12. . .16 — 625 мс, т.е. достаточно большое время,
чтобы считать интенсивность трибодесорбции постоянной. Именно
вследствие секвенциального характера измерений можно наблюдать
несинхронность появления пиков сигналов разных массовых чисел
(см. рис. 2). Таким образом, можно сделать вывод, что спектр трибо-
десорбции при трении a-C:H состоит из двух основных компонентов:
молекулярного водорода и метана. Соотношение между количеством
молекул водорода и углеводородов в десорбированном газе в данном
эксперименте составило 1:6,4, что меньше отношения доли свободно-
го к связанному водороду, равного 1:1,33. Поскольку для образования
молекулы метана при разрыве связи С–СН
2
требуются два атома во-
дорода, а при разрыве связи С–СН — три атома, то часть несвязанного
водорода идет на образование метана, что частично объясняет умень-
шение доли десорбированного молекулярного водорода.
Таблица
Статистические характеристики спектральных компонент — трибодесорбции
и эталонный масс-спектр метана
m/e R
tab
[30]
Выборочные харак-
теристики
Статистический анализ
R
э
s
e
N
р
Критерий Шапиро–
Уилка
t
-критерий
W P
Принятая
гипотеза
(
α
= 0
,
05
)
t
P
12 0,03 0,0346 0,0040 28 0,944 0,160 H
0
H
0
1,14 0,264
13 0,08 0,0772 0,0037 27 0,959 0,379 H
0
H
0
– 0,75 0,460
14 0,16 0,144 0,0067 28 0,936 0,097 H
0
H
1
б
– 2,43 0,011
15 0,86 0,710 0,042 28 0,956 0,309 H
0
H
1
б
– 6,21 0,000
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2008. № 3 61
1,2,3,4,5,6,7,8,9 11,12,13,14
Powered by FlippingBook