ЭНЕРГЕТИЧЕСКОЕ И ТРАНСПОРТНОЕ
МАШИНОСТРОЕНИЕ
УДК 621.51
К. Е. Д е м и х о в
ОСОБЕННОСТИ ОПТИМИЗАЦИИ ПРОТОЧНОЙ
ЧАСТИ ВЫСОКОВАКУУМНЫХ
МЕХАНИЧЕСКИХ НАСОСОВ В ШИРОКОМ
ДИАПАЗОНЕ ДАВЛЕНИЙ
Рассмотрена методика определения параметров высоковакуумных
механических насосов, работающих в широком диапазоне давлений
на стороне всасывания. Приведены практические рекомендации по
выбору критерия оптимальности и решение задачи оптимизации.
E-mail:
Ключевые слова
:
высоковакуумный механический насос, проточная
часть, рабочее колесо, быстрота откачки, откачная характеристика.
В последние годынеуклонно растет число технологических про-
цессов, основанных на необходимости использования вакуумной тех-
ники. Причем в большинстве случаев это связано с применением со-
временных высоковакуумных средств откачки, отвечающих целому
ряду специфических требований. В области нанотехнологии, атомной
энергетики, живых систем, в производстве электровакуумного обору-
дования, сверхчистых металлов и многих других сферах промышлен-
ности необходимо обеспечивать высокий и сверхвысокий вакуум, в
котором отсутствуют даже следыорганических соединений.
Таким требованиям отвечают турбомолекулярные вакуумные насо-
сы(ТВН), имеющие самое широкое применение в различных системах
и установках [1].
Первые образцы ТВН были созданы в конце 50-х гг. XX в., и с тех
пор они постоянно находятся в поле зрения исследователей различных
стран, в результате работы которых создан целый ряд конструкций на-
сосов с различными схемами, параметрами, эксплуатационными ха-
рактеристиками. Разработаныосновные положения теории и методы
расчета ТВН, описывающие с удовлетворительной степенью точности
процессыв межлопаточных каналах и позволяющие определять опти-
мальные размеры отдельных рабочих колес и проточной части насоса
в целом [2, 3].
Однако, возросшие требования, предъявляемые к современным на-
сосам, привели к необходимости постановки новых задач, решение ко-
80 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2012. № 3
