Авторы: Панченко В.П., Дьячков А.Л., Королев С.П., Кравчук К.С., Садогурский  М.Н., Сейдман  Л.А. |
Опубликовано: 30.04.2020 |
Опубликовано в выпуске: #2(131)/2020 |
|
DOI: 10.18698/0236-3941-2020-2-109-127 |
|
Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Технология и оборудование механической и физико-технической обработки |
|
Ключевые слова: магнетронное нанесение, оксид алюминия, наноразмерный слой, лавсановая пленка, установка, режим работы, технология, проницаемость, АСМ-изображение
|