О методе расчета параметров откачки ступени диффузионного вакуумного насоса

В настоящее время пароструйные вакуумные насосы широко используются в различных областях науки и техники в силу целого ряда преимуществ относительно других средств откачки, таких как высокая надежность, относительная простота конструкции, технологичность изготовления. Проанализированы существующие математические модели рабочих процессов, методы расчета откачных параметров пароструйных вакуумных насосов. Проблема совершенствования методов расчета параметров откачки пароструйных вакуумных насосов, применяемых при проектировании, актуальна и в настоящее время. Сделана попытка дальнейшего развития этих моделей в целях повышения их практической значимости для проектирования насосов, в частности, рассмотрены процессы откачки первыми ступенями диффузионного насоса, поскольку именно они определяют эффективность работы насоса в целом. Приведены аналитические зависимости для расчета основных откачных параметров широко применяемых диффузионных вакуумных насосов. Полученные уравнения являются определенной уточняющей коррекцией известных положений по данной тематике. Приведены выводы, имеющие практическую значимость для проектирования современных пароструйных вакуумных насосов

Литература

[1] Хоффман Д., Сингх Б., Томас III Дж. Справочник по вакуумной технике и технологиям. М., Техносфера, 2011.

[2] Демихов К.Е., ред. Вакуумная техника. М., Машиностроение, 2009.

[3] Цейтлин А.Б. Пароструйные вакуумные насосы. М.-Л., Энергия, 1965.

[4] Пауэр Б.Д. Высоковакуумные откачные устройства. М., Энергия, 1969.

[5] Gaede W. Die Molekularluftpumpe. Ann. Phys., 1913, vol. 346, no. 7, pp. 337--380. DOI: https://doi.org/10.1002/andp.19133460707

[6] Яккель Р. Получение и измерение вакуума. М., ИИЛ, 1959.

[7] Кикоин А.К., Кикоин И.К. Молекулярная физика. М., Наука, 1976.

[8] Скобелкин В.И., Ющенкова Н.И. Теория пароструйного вакуумного насоса. ЖТР, 1954, т. 24, № 10, с. 1879--1892.

[9] Путиловский Ф.Д., Гумеров Н.М., Хисамеев И.Г. и др. К расчету диффузионных насосов. В: Физика и техника вакуума. Казань, Изд-во Казанского ун-та, 1974, с. 89--101.

[10] Vacuum technology book. Vol. 2. Pfeiffer Vacuum. pfeiffer-vacuum.com: веб-сайт. URL: https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/know-how (дата обращения: 20.05.2020).

[11] Hybrid turbomolecular pumps. Adixen Alcatel, 2013.

[12] Giors S., Colombo E., Inzoli F., et al. Computational fluid dynamic model of a tapered Holweck vacuum pump operating in the viscous and transition regimes. I. Vacuum performance. J. Vac. Sc. Technol. A, 2006, vol. 24, no. 4, pp. 1584--1591. DOI: https://doi.org/10.1116/1.2178362

[13] Umrath D.W., ed. Fundamentals of vacuum technology. Leybold, 2007.

[14] Pfeiffer Vacuum Сatalogs, 2013. directindustry.com.ru: веб-сайт. URL: https://www.directindustry.com.ru/prod/pfeiffer-vacuum-14656.html (дата обращения: 20.05.2020).

[15] Agilent Turbo-V Pumps. 2013. agilent.com: веб-сайт. URL: https://www.agilent.com/cs/library/catalogs/public/07_turbo_pums (дата обращения: 20.05.2020).