| 
Определение эффективного диапазона давлений газа на стороне всасывания турбомолекулярного вакуумного насоса
| Авторы: Демихов К.Е., Очков А.А. | Опубликовано: 19.10.2016 |
| Опубликовано в выпуске: #5(110)/2016 | |
| Раздел: Энергетическое машиностроение | Рубрика: Вакуумная, компрессорная техника и пневмосистемы | |
| Ключевые слова: турбомолекулярный вакуумный насос, откачная характеристика, давление газа, сторона всасывания насоса | |
При проектировании современных вакуумных средств откачки одной из проблем является обоснованный выбор конкретных видов вакуумных насосов для обеспечения требуемых параметров газа на стороне всасывания, например, диапазона давлений откачиваемого газа. В настоящее время широкое распространение получили турбомолекулярные вакуумные насосы, имеющие весомые преимущества перед другими средствами откачки. На основании созданных в МГТУ им. Н.Э. Баумана методов расчета проведены исследования по определению диапазона давлений газа на всасывании, в котором турбомолекулярные вакуумные насосы являются предпочтительными при обеспечении оптимальных характеристик. Даны рекомендации по выбору диапазона рабочих давлений турбомолекулярных вакуумных насосов, в котором они наиболее эффективны по сравнению с другими видами вакуумных средств откачки.
Литература
[1] Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.
[2] Справочник по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффман, Б. Сингха, Дж. Томаса. М.: Техносфера, 2011. 736 с.
[3] Вакуумная техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др. / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.
[4] Розанов Л.Н. Вакуумная техника. М.: Высш. шк., 2007. 390 с.
[5] Product Leitfaden. Alcatel Hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.
[6] Komponenten fur dieVakuumtechnik, Balzers-Pfeiffer. GmbH, Balzers, 1996.
[7] Vakuum catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH, Marburg, 1993.
[8] Katalog HV300, Teil B., Leybold AG. Cologne, 1994.
[9] Vacuum product catalog. Varian Ass, Lexington, 1995-1998.
[10] Демихов К.Е. Особенности оптимизации проточной части высоковакуумных механических насосов в широком диапазоне давлений // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2012. № 3. С. 80-86.
[11] Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М.: Энергия, 1970. 504 с.
