|

Определение оптимальных параметров проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса

Авторы: Демихов К.Е., Очков А.А. Опубликовано: 21.12.2015
Опубликовано в выпуске: #6(105)/2015  

DOI: 10.18698/0236-3941-2015-6-121-129

  
Раздел: Энергетическое машиностроение | Рубрика: Вакуумная, компрессорная техника и пневмосистемы  
Ключевые слова: вакуумный насос, проточная часть, рабочее колесо, межлопаточные каналы, откачная характеристика, быстрота откачки, степень повышения давлений

Турбомолекулярные вакуумные насосы получают все большее распространение в различных областях науки и техники по целому ряду объективных причин. Достаточно весомым аргументом при этом считается глубокая проработка теоретических и расчетных аспектов описания рабочих процессов в проточной части насоса. Все это позволяет решать различные задачи по оптимизации параметров турбомолекулярных вакуумных насосов, что весьма важно при современных требованиях к разрабатываемым вакуумным средствам откачки. Рассмотрен созданный авторами метод расчета оптимальных параметров рабочих колес в проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов при условии минимизации их числа. Даны соответствующие рекомендации для решения конкретных технических задач.

Литература

[1] Справочник по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффмана, Б. Сингха, Дж. Томаса. М.: Техносфера, 2011, 736 с.

[2] Вакуумная техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др. / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.

[3] Розанов Л.Н. Вакуумная техника. М.: Высшая шк. 2007. 390 с.

[4] Вакуумная электроника / А.Н. Диденко, Н.К. Никулин, Ю.С. Протасов, Г.Н. Фурсей. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2008. 604 с.

[5] Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.

[6] Mechanics and Physics of Precise Vacuum Mechanisms / E.A. Deulin, V.P. Mikhailov, Y.V. Panfilof, R.A. Nevshupa. Dordrecht: Springer, 2010, 234 p. (Fluid Mechanics and its Applications: vol. 91).

[7] Product Leitfaden. Alcatel Hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.

[8] Komponentenfur dieVakuumtechnik, Balzers-Pfeiffer GmbH, Balzers, 1996.

[9] Vakuum catalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH, Marburg, 1993.

[10] Teil B., Leybold A.G. Katalog HV300, Cologne, 1994.

[11] Vacuum product catalog, Varian Ass. Lexington, 1995-1998.