| 
Импульсная имплантация ионов при лазерной абляции материалов
| Авторы: Кошманов В.Е., Смирнов А.Л., Фоминский В.Ю., Смирнов Н.И., Неволин В.Н. | Опубликовано: 10.12.2014 |
| Опубликовано в выпуске: #2(51)/2003 | |
| Раздел: Фундаментальные проблемы машиностроения | |
| Ключевые слова: | |
Исследованы возможности новой методики имплантации высокоэнергетичных ионов из импульсной плазмы, инициируемой наносекундными лазерными импульсами в окружении обрабатываемой поверхности. Для ускорения ионов используются высоковольтные импульсы напряжения, подключаемого к обрабатываемой подложке во время подлета эрозионного факела от облучаемой лазером мишени. Установлена зависимость энергетического спектра имплантируемых ионов от параметров лазерной плазмы, а также режимов включения лазерных и высоковольтных импульсов.
