|

Расчет комбинированных турбомолекулярных высоковакуумных насосов

Авторы: Демихов К.Е., Никулин Н.К. Опубликовано: 03.09.2014
Опубликовано в выпуске: #3(44)/2001  

DOI:

 
Раздел: Проектирование  
Ключевые слова:

Рассмотрены методы усовершенствования и расчета турбо-молекулярных высоковакуумных насосов, а также проточной части безмасляного молекулярно-вязкостного вакуумного насоса. Приведены результаты расчета для молекулярного и вязкостного режимов течения одной из проточных частей в сравнении с аналогичным вихревым вакуумным насосом.