Расчет комбинированных турбомолекулярных высоковакуумных насосов
Авторы: Демихов К.Е., Никулин Н.К. | Опубликовано: 03.09.2014 |
Опубликовано в выпуске: #3(44)/2001 | |
Раздел: Проектирование | |
Ключевые слова: |
Рассмотрены методы усовершенствования и расчета турбо-молекулярных высоковакуумных насосов, а также проточной части безмасляного молекулярно-вязкостного вакуумного насоса. Приведены результаты расчета для молекулярного и вязкостного режимов течения одной из проточных частей в сравнении с аналогичным вихревым вакуумным насосом.