УДК 621.51
ЭФФЕКТИВНОСТЬ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ РАЗЛИЧНЫХ КОНСТРУКЦИЙ
РАБОЧИХ КОЛЕС В ПРОТОЧНОЙ ЧАСТИ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО
ВАКУУМНОГО НАСОСА
К.Е. Демихов
МГТУ им. Н.Э. Баумана, Москва, Российская Федерация
e-mail:
Определение оптимальных параметров турбомолекулярных вакуумных насо-
сов является актуальной проблемой современного вакуумного машинострое-
ния. Поскольку вакуумные насосы обычно входят в состав самых разнообраз-
ных установок, то необходима оценка влияния внешних условий на откачные
устройства, что, безусловно, сказывается на обеспечении оптимизации пара-
метров насоса. Одним из методов является обоснованное формирование про-
точной части вакуумного турбомолекулярного насоса с оптимальными параме-
трами рабочих колес. В настоящее время известны разнообразные конструк-
ции рабочих колес, применяемых в турбомолекулярных вакуумных насосах. Они
различаются не только параметрами, но и эксплуатационными характери-
стиками. Поэтому применение конкретных видов рабочих колес в создаваемых
турбомолекулярных насосах — это важная задача, результаты решения ко-
торой скажутся на эффективности самого насоса. Рассмотрена методика
выбора конструкций рабочих колес в проточной части турбомолекулярных ва-
куумных насосов, работающих в широком диапазоне давлений. Проанализиро-
вано влияние различных факторов на основные параметры турбомолекулярных
насосов, что позволит повысить эффективность насоса. Приведены рекомен-
дации по использованию лопаточных и дисковых колес при различных условиях
эксплуатации насоса. Применение их на практике дает возможность улучшить
основные характеристики турбомолекулярных вакуумных насосов.
Ключевые слова
:
рабочее колесо, проточная часть, лопаточные и дисковые ко-
леса, параметры откачки, быстрота действия.
EFFICIENCY OF USING DIFFERENT DESIGNS OF WORKING
WHEELS IN THE FLOW PATH OF A TURBOMOLECULAR VACUUM
PUMP
K.Ye. Demikhov
Bauman Moscow State Technical University, Moscow, Russian Federation
e-mail:
The determination of optimal parameters of turbomolecular vacuum pumps is an
urgent problem of the modern vacuum machine building. Since vacuum pumps are
typically included in the most diverse facilities, it is necessary to estimate the influence
of external conditions on the exhaust units, which undoubtedly affects the pump
parameter optimization to be provided. One of the methods to resolve the problem
is the reasonable formation of the flow path of a vacuum turbomolecular pump
with optimal parameters of working wheels. Now the diversified designs of working
wheels are known which are applied in turbomolecular vacuum pumps. They differ not
only in parameters but also in operating characteristics. Therefore the application
of particular types of working wheels in the created turbomolecular pumps is an
important task, the results of fulfillment of which will have an effect upon the efficiency
of the pump itself. A technique is considered for choosing designs of working wheels
in the flow path of turbomolecular vacuum pumps operating in a broad pressure
54 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2013. № 4
