4 / 7
Метод расчета оптимальных параметров комбинированного молекулярного вакуумного насоса
ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2017. № 5
101
Был выполнен сравнительный анализ объемов ПЧ ЦМВН, ДМВН и КМВН,
работающих в оптимальных диапазонах рабочих давлений, для ряда значений
быстроты действия. Результаты анализа приведены в табл. 1–3.
Таблица 1
Сравнение объемов ПЧ МВН различных типов при равных
S
н
в диапазоне 0,1…200 Па
S
н
, л/с
V
комб
, л
V
цил
, л
V
диск
, л
10
0,02
1,34
1,13
30
0,14
5,32
30,75
50
0,23
11,53
41,27
70
0,37
24,91
52,36
100
0,62
42,51
81,72
150
1,21
78,12
135,31
200
1,77
120,27
250,12
Таблица 2
Сравнение объемов ПЧ МВН различных типов при равных
S
н
в диапазоне 1…100 Па
S
н
, л/с
V
комб
, л
V
цил
, л
V
диск
, л
10
0,018
0,037
0,024
30
0,093
0,143
0,141
50
0,198
0,31
0,27
70
0,31
0,51
0,45
100
0,56
0,89
0,73
150
1,05
1,65
1,46
200
1,63
2,63
2,52
Таблица 3
Сравнение объемов ПЧ МВН различных типов при равных
S
н
в диапазоне 0,1…10 Па
S
н
, л/с
V
комб
, л
V
цил
, л
V
диск
, л
10
0,016
0,025
0,09
30
0,082
0,131
0,45
50
0,177
0,28
0,69
70
0,29
0,48
2,13
100
0,49
0,83
2,94
150
0,91
1,52
5,46
200
1,42
2,47
6,93
Получены также графические зависимости объема ПЧ КМВН от требуемой
быстроты действия в различных диапазонах давлений, обеспечиваемых данны-
ми средствами откачки. Результаты исследования приведены на рис. 4.