Трибостимулированная десорбция газов из тонкопленочных покрытий аморфного углерода в сверхвысоком вакууме

Изучена трибодесорбция из покрытий наводороженного аморфного углерода (a-C:H), нанесенных методами плазменного осаждения из газовой фазы, осаждением из ионного луча и осаждением с использованием диодной системы. Трибодесорбция газов исследовалась при помощи сверхвысоковакуумного трибометра, оборудованного квадрупольным масс-спектрометром. Эксперименты показали, что в режиме сверхнизкого трения уровень газовыделения ниже чувствительности имеющегося масс-спектрометра. Однако выделение газов, в основном H₂ и CH₄, наблюдается при возрастании коэффициента трения во время самопроизвольного прекращения режима сверхнизкого трения. Анализ поверхности показывает наличие повреждений, в то время как в режиме сверхнизкого трения след трения практически отсутствует. Показано, что газовыделе-ние имеет четкую связь с режимом трения, таким образом, трибодесорбция может быть использована как метод диагностики поломки механизмов.