Универсальная математическая модель процесса откачки газа молекулярным вакуумным насосом

Впервые разработана универсальная математическая модель, описывающая рабочий процесс откачки газа молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне изменения откачных параметров при различных режимах течения газа, которая позволяет рассчитать параметры каналов как дисковых, так и цилиндрических молекулярных вакуумных насосов. Адекватность разработанной математической модели проверена сопоставлением с экспериментальными данными, максимальная погрешность расчета не превысила 20 %

Литература

[1] Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.

[2] Демихов К.Е., Панфилов Ю.В., Никулин Н.К. и др. Вакуумная техника / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 c.

[3] Giors S., Campagna L., Emelli E. New spiral molecular drag stage design for high compression ratio, compact turbomolecular-drag pumps // Journal of Vacuum Science and Technology. Part A. 2010. Vol. 28. No. 4. DOI: 10.1116/1.3386591 URL: http://avs.scitation.org/doi/full/10.1116/1.3386591

[4] Mauro Audi, Silvio Giors, Romina Gotta. The state of the art in molecular-drag turbo-pump technology. Agilent technologies GmbH, 2011. 26 p.

[5] Демихов К.Е., Очков А.А. Математическая модель процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне давлений // Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2014. № 12. С. 128–136. DOI: 10.7463/1214.0748304 URL: http://technomag.bmstu.ru/doc/748304.html

[6] Демихов К.Е., Очков А.А., Полежаев А. Влияние различных параметров проточной части цилиндрического молекулярного вакуумного насоса на его характеристики // Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация. 2015. № 3. С. 1–8. URL: http://maplantsjournal.ru/doc/785997.html

[7] Демихов К.Е., Очков А.А. Оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части дискового молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений // Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация. 2015. № 2. С. 25–34. URL: http://maplantsjournal.ru/doc/781957.html

[8] Agilent Turbo-V pumps. Agilent Technologies GmbH, May 2016. 59 p.

[9] Myoung-Keon Kwon, Young-Kyu Hwang. An experimental study on the pumping performance of molecular drag pumps // Journal of Mechanical Science and Technology. 2006. Vol. 20. No. 9. Р. 1483–1491. DOI: 10.1007/BF02915971 URL: https://link.springer.com/article/10.1007/BF02915971