Экспериментальная методика и экспериментальные условия.
Разработанная конструкция термозонда на основе трехслойного бо-
лометра с висмутовым термосопротивлением, сеточным анализато-
ром и газовым фильтром (рис. 1) сочетает в себе основные досто-
инства электростатического анализатора энергии заряженных частиц
и металлического болометра, имеет высокое временное разрешение
τ
р
∼
1
,
5
. . .
2
мкс и высокую чувствительность
∼
10
−
5
. . .
10
−
6
Дж/см
2
в коротковолновом диапазоне спектра (
hν >
6
эВ) и позволяет пол-
ностью устранить внутренний фотоэффект на термосопротивлении,
избавиться от токового контакта с исследуемой средой и раздельно
регистрировать потоки нейтральных и заряженных частиц и излу-
чения. Диапазон изменения временного разрешения и спектрально-
энергетической чувствительности прибора определяется толщиной и
оптическими характеристиками приемной пластинки болометра, кро-
ме того, существенным для достижения их высоких значений является
и технология изготовления болометрического элемента на подложках
с толщиной
δ <
10
мкм.
Болометрический элемент
3
представляет собой висмутовое тер-
мосопротивление, конденсированное в вакууме на подложку из ок-
сидированного алюминия. Параметры болометрических элементов
изменялись в следующих пределах: толщина алюминиевой фоль-
ги
∼
10
. . .
20
мкм, толщина оксидного слоя
∼
1
. . .
5
мкм, при этом
температурный коэффициент сопротивления
α
= 0
,
18
. . .
0
,
3
%/K, со-
противление болометра
R
= 0
,
9
. . .
2
,
2
кОм. Болометрический элемент
бифилярными серебряными лентами
4
соединяется с выводами
10
,
изолированными полиформальдегидной втулкой
2
от корпуса
1
. При-
жимное кольцо
5
служит для фиксирования болометрического элемен-
Рис. 1. Схема термозонда-анализатора
64 ISSN 0236-3941. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Машиностроение”. 2005. № 4
