Современные направления развития высоковакуумных механических насосов

Турбомолекулярные вакуумные насосы широко применяются в самых различных областях науки и техники, в результате чего не ослабевает интерес к проблеме создания новых видов насосов. Разработана теория рабочих процессов в проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов при различных условиях эксплуатации, одним из весомых показателей которой является возможность выполнять расчеты основных параметров и характеристик таких насосов с достаточной точностью, что позволяет исследовать влияние на них различных факторов. Тем самым, наверное, для единственного высоковакуумного насоса обеспечивается оптимизация его проточной части при различных критериях оптимальности. Накоплена обширная база данных, позволяющая создавать эффективные турбомолекулярные вакуумные насосы с различными исходными параметрами. Поэтому в настоящее время актуальной проблемой становится поиск перспективных направлений дальнейшего развития турбомолекулярных вакуумных насосов. Рассмотрены современные направления совершенствования конструкций турбомолекулярных вакуумных насосов с использованием комбинированных схем проточной части. Отмечены преимущества использованных конкретных схем, даны рекомендации по области их применения. Приведены результаты сравнительного анализа эффективности использования различных схем проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов.

Литература

[1] Справочник по вакуумной технике и технологиям / под ред. Д. Хоффмана, Б. Сингха, Дж. Томаса III. М.: Техносфера, 2011. 736 с.

[2] Вакуумная техника: Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др. / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 с.

[3] Оптимизация высоковакуумных механических насосов / К.Е. Демихов, Н.К. Никулин. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с.

[4] Product Leitfaden. Alcatel Hochvakuumtechnik. GmbH, Annecy, 1995.

[5] Komponenten fur die Vakuumtechnik, Balzers-Pfeiffer GmbH, Balzers, 1996.

[6] Vakuum katalog. Edwards. Hochvakuum. GmbH, Marburg, 1993.

[7] Katalog HV300, Teil B., Leybold AG, Cologne, 1994.

[8] Vacuum product katalog, Varian Ass. Lexington. 1995-1998.