Эффективность использования различных конструкций рабочих колес в проточной части турбомолекулярного вакуумного насоса

Определение оптимальных параметров турбомолекулярных вакуумных насосов является актуальной проблемой современного вакуумного машиностроения. Поскольку вакуумные насосы обычно входят в состав самых разнообразных установок, то необходима оценка влияния внешних условий на откачные устройства, что, безусловно, сказывается на обеспечении оптимизации параметров насоса. Одним из методов является обоснованное формирование проточной части вакуумного турбомолекулярного насоса с оптимальными параметрами рабочих колес. В настоящее время известны разнообразные конструкции рабочих колес, применяемых в турбомолекулярных вакуумных насосах. Они различаются не только параметрами, но и эксплуатационными характеристиками. Поэтому применение конкретных видов рабочих колес в создаваемых турбомолекулярных насосах - это важная задача, результаты решения которой скажутся на эффективности самого насоса. Рассмотрена методика выбора конструкций рабочих колес в проточной части турбомолекулярных вакуумных насосов, работающих в широком диапазоне давлений. Проанализировано влияние различных факторов на основные параметры турбомолекулярных насосов, что позволит повысить эффективность насоса.

Приведены рекомендации по использованию лопаточных и дисковых колес при различных условиях эксплуатации насоса. Применение их на практике дает возможность улучшить основные характеристики турбомолекулярных вакуумных насосов.

Литература

[1] Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 c.

[2] Вакуумная техника. Справочник / К.Е. Демихов, Ю.В. Панфилов, Н.К. Никулин и др./ под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.В. Панфилова. М.: Машиностроение, 2009. 590 c.

[3] Демихов К.Е. Особенности оптимизации проточной части высоковакуумных механических насосов в широком диапазоне давлений // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2012. № 3. С. 80-86.

[4] Демихов К.Е., Куликова Т.В. Исследование параметров откачных характеристик молекулярного вакуумного насоса // Конверсия в машиностроении. 2007. № 4-5.

[5] Bernhard K. Calculation of pumping speed of turbo-molecular vacuum pump by means of simple mechanical data // Vacuum Science and Technology. 1983. Vol. 1

[6] Chu Y., Hua Z. The statistical theory of turbo-molecular pumps// Adv.YVST. 1982. Vol. 20 (4). P. 1101-1104.

[7] Fustoss L. Monte-Carlo calculation for free molecular and near-free molecular flow thought axially symmetric tubes// Vacuum 1981. Vol. 31, no. 6. P. 243-246.

[8] Henning H., Knorr G. New series of air-cooled turbo-molecular pumps for industry and research to be mounted in any position //Vacuum Technik. 1981. Bd. 30. Y. N.Y. P. 98-101.

[9] Демихов К.Е., Никулин Н.К. Высоковакуумная откачка направленных потоков газа // Изв. вузов. Сер. Машиностроение. 2011. № 11. С. 28-32.

[10] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Расчет параметров течения газа в тонких каналах с подвижной стенкой // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2009. № 4. С. 19-27.

[11] Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В. Молекулярные потоки в высоковакуумных системах. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана. 2013. 105 c.